Drucksensor

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Bauelement, das bei angelegtem Druck ein proportionales elektrisches Signal abgibt.

Drucksensoren arbeiten nach unterschiedlichen Prinzipien. Bekannt sind vor allem piezoresistive und kapazitive bzw. keramische Sensoren.

Piezoresistive Sensoren sind mikromechanische Strukturen und werden ähnlich wie Halbleiterchips hergestellt. Sie sind preiswert, haben eine mittlere Genauigkeit und sind gerade richtig für die meisten massenhaften Anwendungen in der allgemeinen Mess-Steuerungs- und Regelungstechnik.

Kapazitive Drucksensoren werden auf Grund ihrer hohen Präzision auch physikalischen Messaufgaben gerecht. Sie werden insbesondere in Präzisionsgeräten und Kalibratoren eingesetzt. Der Preisunterschied zwischen kapazitiven und piezoresistiven Sensoren ist erheblich.

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